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高精度直线电机平台
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XY直线电机运动平台光栅分辨率sin\cos 4.88nm（可选其它更高分辨率）持续220N 峰值440N推力，空载加速度3-4.5g,重复定位精度±0.15um,定位精度±1um,平面度±2um最大速度500mm/s
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