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XY-500X350 十字叠加
负载10kg, 最大速度150mm/s, 重复精度+/-0.5um。 持续推力 上轴75N,下轴150N。 光栅分辨率0.1um.
XY-165X125
负载1kg,行程 165x125mm,持续推力 上轴 2.7N,下轴4.5N, 光栅分辨率0.1um, 重复精度+/-0.5um,最大速度30mm/s。
XY-110X70
负载1kg, 最大速度100mm/s,行程110x70mm, 重复精度+/-0.3um,光栅分辨率0.1um。持续推力 上轴2.7N,下轴4.5N.
100-100管式电机模组
XY精密运动平台,用于半导体,3C等检测设备。
负载<2kg, 行程100x100mm, 最大速度80mm/s, 重复精度+/-0.5um,持续推力4.5N。
NPM-S310
负载5kg, 最大速度300mm/s,重复精度+/-0.3um。持续推力20N,光栅分辨率50nm.
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