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四轴龙门超精密气浮运动台
产品编号
产品描述
参数
大理石基座材质：济南青 or 印度石
工作面精度等级≤000级 非工作面等级≤0级，气浮隔振器，光栅分辨率：1vpp模拟量，4096细分 4.88nm，可以选配50nm数字量或绝对值光栅
最大加速度：Y≥2g，X≥1g
最大速度：Y≥1m/s，X≥1m/s
重复定位精度：X≤±0.25um，Y≤±0.25um
定位精度：X≤±0.5um，Y≤±0.5um
直线度/平面度：≤2um/全行程
最大负载：50kg 有效负载：21kg（加速度计算负载）
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